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为处置这些难题，近几年国内呈现一种真空辅助开关，其高度的通断可靠性、十万次的接点运用寿命、免维护性能及与F系列辅助开关的良好兼容性能，遭到用户的关注，普遍适用于继电器切换回路和信号采集回路。而且关于维护回路、联锁回路、隔分开关辅助回路及断路器二次控制中间回路皆适用，在高压开关柜上，亦可作转换或组合开关运用。

一般来说，硬度和机械强度较高的材料，往往有较高的绝缘强度。比如，钢电极在淬火后硬度提高，其击穿电压较淬火前可提高80%。此外，击穿电压还和阴极材料的物理常数如熔点、比热和密度等正相关，即熔点较高的材料其击穿电压也较高。对比热和密度而言亦然。这一问题的实质是在相同热能的作用下，材料发生熔化的概率越大，则击穿电压越低。

爪式泵是为半导体工业发展而研制的，它有如下特点：泵腔内无润滑剂，因而无返油现象发生。抽气元件为非接触式的可实现高速运转（3000r/min）。与泵抽气体接触的表面防腐蚀耐磨损。在泵腔内气流垂直运动，少量的颗粒物和液体等在重力作用下易于排除。该泵型式多样，功能可以扩展，泵的主体，带有齿轮、马达以及气体净化设备，附件有入口处防返流的阀门，出口处有截流阀，

电气监控及报警装置。齿轮和泵轴的下轴承用PFPE油润滑，上端盖内德轴承用PFPE油脂润滑。第二、三、四级均有净化入口，以改善被抽介质顺利通过泵腔，无此需要的可以不用通净化气体，净化气体用三个流量计分别调节，相互都是***的，以保证节约惰性气体，利用三个电磁阀可微调其流量。入口防返流阀能将被抽容器与泵腔隔断，出口处截流阀能将泵的出口封闭起来，将泵通以净化气体，这些阀可自动开关，真空系统有可靠得保护，了向真空室的返流。