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真空区域的划分没有统一规定，我国通常是这样划分的：粗真空：(760～10)托，低真空：(10～10-3)托，高真空：(10-3～10-8)托，超高真空：(10-8～10-12)托，极高真空：10-12托，托和帕的关系：1 托=1 毫米柱(mmHg)=133.322Pa，1 帕=7.5×10-3 托。真空区域的特点不同其应用也不同，例如吸尘器工作于粗真空区域，暖瓶、灯泡等工作于低真空区域，而真空开关管和其它一些电真空器件则是工作在高真空区域。

真空间隙的绝缘特性，真空中放置一对电极，加上高压时，在一定的电压下也会产生电极之间的穿。它的击穿与空气中的穿有很大不同。空气中的击穿是由于气体中的少量自由电子在电场作用下高速度运动，与气体分子碰撞产生较多的电子和离子，新生的电子和离子又同中性原子碰撞，产生更多的电子和离子。这种雪崩式的电离过程，在电极间形成了放电通道，产生了电弧。

关于电极的表面状况，电极的表面状况对真空间隙的击穿电压影响较大。电极表面的氧化物、杂质和金属微粒都会使真空间隙的击穿电压明显下降。此外，无论真空灭弧室的电极表面在制造中加工得如何，大电流开断均会使电极表面变得凸凹不平，这也将使得击穿电压降低。老炼效应，电极老炼有电压老炼和电流老炼两种，在使用真空泵起着很大的作用。