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真空区域的划分没有统一规定，我国通常是这样划分的：粗真空：(760～10)托，低真空：(10～10-3)托，高真空：(10-3～10-8)托，超高真空：(10-8～10-12)托，极高真空：10-12托，托和帕的关系：1 托=1 毫米柱(mmHg)=133.322Pa，1 帕=7.5×10-3 托。真空区域的特点不同其应用也不同，例如吸尘器工作于粗真空区域，暖瓶、灯泡等工作于低真空区域，而真空开关管和其它一些电真空器件则是工作在高真空区域。

而真空中，由于压强较低，气体分子，在这样的环境中，即使电极间隙中存在着电子，它们从一个电极飞向另一个电极时，也很少有机会与气体分子碰撞。因而不可能有电子和气体分子碰撞造成雪崩式的穿。正是因为气体分子十分稀少，真空间隙穿需要在非常高的电压下出现场致发射等其它现象时才有可能形成。从理论上推测，电场强度需达到108V/cm以上时才会造成穿，实际上真空间隙的绝缘强度由于一系列不利因素例如电极表面粗糙度、洁净度等的影响，将低于理论计算值几个数量级。

一个新的真空间隙进行试验时，几次的击穿电压往往较低。随着试验次数的增加击穿电压也逐渐增大，会稳定在某一数值上。这种击穿电压随击穿次数增大的现象就是电压老炼的作用。电压老炼就是通过放电消除电极表面的微观凸起、杂质和缺陷。经过小电流的放电使表面的微观凸起点烧熔、蒸发，使电极表面光滑平整，局部电场的增应减小，提高了击穿电压。